三種途徑的物理過程描述如下：高能量的激光束與靶材相：用，光束能量部分轉換為足夠使靶材熔化和蒸發的熱能（光熱燒蝕）；蒸發的部分電離形成等寓子體；吸收激光的等離子體膨脹、冷卻、凝固成簇，這一過；斷進行下去，直到激光停止作用。人們據此提出了一個簡化的一維激光燒蝕物型，運用激光焊接機這個模型可以預測蒸發前沿的溫度和蒸氣通量以及顆粒形成和燒蝕率：由于一方面該模型沒有考慮從靶材表面發生的熱傳導、對流和輻射損失，另一方面缺少高溫時的熱物理和光學性能數據，從而使得用模型預測的結果比試驗值偏高，盡管變化趨勢是一致的。
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