微電子工業中經常使用掩模，激光不但可制作原圖，還可修復掩模。如果它的硬表面有0.1um厚的鉻膜殘留缺陷，則只需以1J／cm2能量密度的Nd：YAC脈沖激光，控制脈沖寬度在50ns以內，通過聚焦系統獲得2～2.5um刻線寬度，就可方便地除去缺陷，修復掩模。
由于激光光斑很小，光束定位精度高，用它修補高密度的MOS存貯器是理想手段。在制備復雜的存貯器時，局部缺陷使牲個存貯器成為廢品，嚴重地影響提高生產率。如果用激光束切割去其失效部分，再利用備件代替該元件，就可克服.MOS存貯器成品率低的問題。
隨著激光技術發展和各種切割領域內新問題的出現，激光精密切割必將不斷獲得新的應用。
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